本電子級液體過(guò)濾器可以對各類(lèi)液體的顆粒度、清潔度、污染物進(jìn)行管理、控制、監測和分析;設備及零部件沖洗顆粒污染物的管控及測試,純凈溶液和電子級用水中不溶性微粒的管控及測試,電子化學(xué)品中顆粒物控制及中小試評價(jià)。
本方案涵蓋控制系統、清潔系統、動(dòng)力系統和監測系統等單元,利用動(dòng)力系統單元將所需清潔物質(zhì)通過(guò)清潔系統單元進(jìn)行循環(huán)清潔處理,利用監控系統和控制系統,進(jìn)行相關(guān)的調整并循環(huán)自?xún)簦?**終達到相關(guān)標準要求。
本系統采用英國普洛帝“光阻測量顆粒”和“精密微納米顆粒管控”兩項技術(shù),可根據用戶(hù)的要求,內置用戶(hù)所需多種管控工藝,實(shí)現多粒徑大小及數量的管控和檢測。
經(jīng)典第八代***新應用軟件系統平臺,集結初濾、精濾、終濾、清洗、檢測、報警、校準和標定各模塊可實(shí)現方便的全自動(dòng)化設定和操作,內置判定標準、檢測曲線(xiàn)、模塊調試和聲光報警等。
與業(yè)內***的智能系統公司合作,選擇其優(yōu)秀的智能監控軍工級技術(shù)型工控機,系統穩定,性能穩卓越。
具有標準串行RS232口或RS485口、LAN口、USB口等,可外接普洛帝智能工廠(chǎng)等自動(dòng)化管理系統。
可按英標、美標、日標、中標等標準進(jìn)行標定、校準。
提供校準物質(zhì)(GBW),協(xié)助客戶(hù)每年一次的校準計量工作。
提供行業(yè)獨有的“OIL17服務(wù)星” 簽約式服務(wù),365天無(wú)憂(yōu)使用。
執行標準:
GB/T 11446.1-2013 電子級水
GBT 11446.3-2013 電子級水測試方法通則
GB/T 11446.9 電子級水中微粒的儀器測試方法
SJ/T 11638-2016 電子化學(xué)品中顆粒的測試方法
GBT 29024.2-2016 粒度分析 單顆粒的光學(xué)測量方法 第2部分:液體顆粒計數器光散射法
ISO 21501-2-2007 Determination of particle size distribution - Single particle light interaction methods - Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter
ISO 14644-9-2012 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
ISO 14644-10-2014 Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10. Classification of surface cleanliness by chemical concentration
JIS K0554-1995 高純度水中微粒子濃度的檢測方法
JIS B9925-2010 光散亂式液中粒子計數器-校正方法及び検証方法
技術(shù)參數:
訂制要求:各類(lèi)液體檢測要求;
傳 感 器:第八代雙激光窄光檢測器(精確、穩定、迅速);
測試軟件:CCACS2.0分析測試軟件集成版;
控制方式:集成式工控機控制或工業(yè)PC 控制;
檢測方式:中國國標、電子行業(yè)標準、半導體行業(yè)標準、日本標準、美國標準、ISO標準;
測試標定:CN-PSL乳膠球計量、CN-ISO標定計量、CN-NIST標定計量;
操作方式:彩色液晶觸摸屏或鍵盤(pán)鼠標操作;
管控精度:0.05、0.1、0.2、0.3、0.5、0.7、.08、1μm,2μm,3μm,5μm,10μm;
管控檢測:0.05~10μm(根據要求和傳感器);
管控通道:1000 個(gè),可任意4、6、8、16、32、64、128個(gè)尺寸范圍顆粒計數值;
管控流速:5mL/min~1500mL/min;
流速精度:<±1%;
管控體積:100mL~100L;
測試粘度:離線(xiàn)0~99厘斯;加壓可達500厘斯;
流體溫度:0℃~80℃;
環(huán)境溫度:-15℃~50℃;
接口方式:RS232或R485轉USB或USB接口 ;可定制尺寸;
模擬輸出:4mA~20mA;串口協(xié)議;MODBUS協(xié)議;
報告方法:顆粒數/ml及等級;
輸入電壓:100V~265V,50Hz~60Hz;
售后服務(wù):普洛帝中國服務(wù)中心/軍計測。
鑒定機構:西安中特計量檢測研究院